工業廢氣是大氣污染物的主要來源，工業廢氣中主要含有顆粒物、重金屬元素、無機小分子氣體和有機類污染物。

工業廢氣檢測包括有機廢氣和無機廢氣。有機廢氣主要包括各種烴類、醇類、醛類、酸類、酮類和胺類等；無機廢氣主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、鹵素及其化合物等。